北京賽米萊德-NR74*000PY光刻膠
光刻膠
在*過程中,正性膠通過感光化學反應,切斷樹脂聚合體主鏈和從鏈之間的聯系,達到削弱聚合體的目的,所以*后的光刻膠在隨后顯影處理中溶解度升高。*后的光刻膠溶解速度幾乎是未*的光刻膠溶解速度的10倍。而負性膠,在感光反應過程中主鏈的隨機十字鏈接更為緊密,并且從鏈下墜物增長,所以聚合體的溶解度降低。見正性膠在*區間顯影,負性膠則相反。負性膠由于*區間得到保留,漫射形成的輪廓使顯影后的圖像為上寬下窄的圖像,而正性膠相反,nr74*000py光刻膠,為下寬上窄的圖像。
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光刻膠:半導體技術壁壘較高的材料之一
光刻是整個集成電路制造過程中耗時長、難度大的工藝,耗時占ic制造50%左右,成本約占ic生產成本的1/3。光刻膠是光刻過程重要的耗材,光刻膠的質量對光刻工藝有著重要影響。
光刻是將圖形由掩膜版上轉移到硅片上,為后續的刻蝕步驟作準備。在光刻過程中,需在硅片上涂一層光刻膠,經紫外線*后,光刻膠的化學性質發生變化,在通過顯影后,被*的光刻膠將被去除,從而實現將電路圖形由掩膜版轉移到光刻膠上。再經過刻蝕過程,實現電路圖形由光刻膠轉移到硅片上。在刻蝕過程中,光刻膠起防腐蝕的保護作用。
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負性光刻膠原理
又稱光致*蝕劑,是一種由感光樹脂、增感劑(見光譜增料)和溶劑三種主要成分組成的對光敏感的混合液體。
原理
光刻膠在接受一定波長的光或者射線時,會相應的發生一種光化學反應或者激勵作用。光化學反應中的光吸收是在化學鍵合中起作用的處于原子外層的電子由基態轉入激勵態時引起的。對于有機物,基態與激勵態的能量差為3~6ev,相當于該能量差的光(即波長為0.2~0.4μm的光)被有機物強烈吸收,nr74*000py光刻膠哪里有,使在化學鍵合中起作用的電子轉入激勵態。化學鍵合在受到這種激勵時,或者分離或者改變鍵合對象,發生化學變化。電子束、x射線及離子束(即被加速的粒子)注入物質后,因與物質具有的電子相互作用,能量逐漸消失。電子束失去的能量轉移到物質的電子中,因此生成激勵狀態的電子或二次電子或離子。這些電子或離子均可誘發光刻膠的化學反應。
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