耀群科技股份有限公司

耀群代理美國(guó)HACH的Hiac,MetOne,Royco,ARTI及HYT微粒子計(jì)數(shù)器應(yīng)用於無(wú)塵室,無(wú)塵室全廠微粒子落塵監(jiān)控(FMS),純水,化學(xué)品,高壓氣體及製程設(shè)備等各種落塵,微粒子監(jiān)控.並提供維修校正技術(shù)諮詢租借及遵循NEBB代測(cè)工程服務(wù).
煩請(qǐng)轉(zhuǎn)寄相關(guān)部門(mén)單位如採(cǎi)購(gòu),製程,品保,廠務(wù)
作技術(shù)經(jīng)驗(yàn)的交流, 希望未來(lái)有機(jī)會(huì)為您繼續(xù)提供相關(guān)技術(shù)服務(wù)及合作!!
耀群科技目前所代理服務(wù)的產(chǎn)品如下：
A.美國(guó)HACH ULTRA ANALYTICS是全世界最大的微粒子偵測(cè)系統(tǒng)供應(yīng)商，品牌包括MetOne、ROYCO、HIAC、HYT，
分別供應(yīng)無(wú)塵室、室內(nèi)空氣品質(zhì)、高壓氣體、Hepa/Ulpa洩漏量測(cè)及監(jiān)控系統(tǒng)(FMS)、DIW系統(tǒng)、化學(xué)品、
高粘度光阻及各式油品含潤(rùn)滑液溶劑、真空製程設(shè)備CVD, Ion Implanter, Furnace, Plasma Etcher、
有關(guān)Particle量測(cè)等相關(guān)專業(yè)服務(wù)。
B. ESD靜電量測(cè)設(shè)備、TSI風(fēng)速計(jì)、Rotronic and INS溫濕度計(jì)、……等。
C.無(wú)塵室NEBB代測(cè)、專業(yè)諮詢、儀器租借等服務(wù)。
D.美國(guó)Matec Applied Sciences超微粒徑分析儀提供最新的聲波檢測(cè)原理，Sample不需稀釋即可分析出準(zhǔn)確的Particle Size，
提供各種不同的Particle分佈分析的模式，量測(cè)範(fàn)圍從5nm-100um，適合用於CMP Slurny、Ceranincs、lnks、Phsrmaceutic..等。
E. NSK Motor Overhaul Service for Mirra CMP Machine Tool維修。
F.Helmke Drum RTC-3000 無(wú)塵衣發(fā)塵量測(cè)試漢姆克滾筒;符合IEST-RP-003規(guī)範(fàn)。
G.測(cè)試擦拭布潔淨(jìng)度Liquid Particle Counter
H.日本INTI ION Counter正負(fù)離子計(jì)數(shù)器測(cè)試各種環(huán)境下正、負(fù)離子的濃度與各種負(fù)
離子相關(guān)產(chǎn)品的離子產(chǎn)生數(shù)量,應(yīng)用在觀察 正負(fù)離子在空氣中的 驗(yàn)證。
F.Surface Particle Detector, Mini-environmental Monitoring System
美國(guó)Pentagon Technologies 的 QIII+ 應(yīng)用于設(shè)備機(jī)臺(tái)( PVD, CVD,.., Etch, Diffusion ) Chamber 內(nèi)Surface Particles 量測(cè), 可降低產(chǎn)品Defect和Test Wafer的使用量, 以及工作臺(tái)面積臺(tái)表面潔凈度..等的驗(yàn)證. 此已為目前機(jī)臺(tái)維護(hù)作業(yè)時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)工具
耀群科技提供完整解決的方案，相信可以成為貴公司最好的技術(shù)顧問(wèn)夥伴。